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歐司朗 發表第一款在矽晶圓上的氮化鎵晶片已在試產階段

2019/10/21
歐司朗光電半導體研發中心已成功在 6 吋矽晶圓初步量產高亮藍白光用LED , 這是有別於一般傳統藍寶石基材新款LED已在試產階段,正在做信賴性評估,意即歐司朗第一顆矽基材LED可望於兩年後上市。

矽基材的優點

矽晶圓是目前半導體業界廣泛使用,有良好的熱導特性,大尺吋晶圓製程大幅
降低製造成本,對於未來LED照明市場而言是一個最佳選擇

試產樣品與藍寶石基材水準相當:
UX:3 結構封裝成OSRAM Golden Dragon Plus 測試資料如下
亮度 634mW, 140lm @ 350mA, 壓降3.15V@ 350mA; 光效127lm/W @ 4500K
現在是6吋晶圓製程, 未來8吋製程的晶圓轉換已在進行, 如右圖展示

技術的芯片制造一個直徑6英寸晶片。 圖片來源:歐司朗
歐司朗矽晶圓簡易流程請參考下圖:
OSRAM Opto Semiconductors-UX:3-Chip production on Silicon
1.Epilayer growth on Silicon substrate
2.Mirror and contact formation
3.Transfer to Silicon carrier and substrate removal
4.Final chip processing
圖片來源:歐司朗

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